PROCEDE ET INSTALLATION DE FOURNITURE D'HELIUM ULTRA–PUR
| N° de brevet: |
FR2747595 (A1) |
| Date de publication: |
1997-10-24 |
| Inventeur(s): |
CASTELLANET FREDERIC;BRIEND PIERRE;BOISSIN JEAN CLAUDE; |
| Demandeur(s): |
AIR LIQUIDE [FR]; |
| Classification: |
C01B23/00;F17C9/00;F17C9/02;F25J3/08; |
| N° de demande: |
FR19960004955 19960419 |
| Numéro(s) de priorité: |
FR19960004955 19960419 |
Suivant ce procédé, pour fournir à une conduite d'utilisation (1) de l'hélium ultra-pur, on soutire l'hélium, sous forme liquide ou supercritique, d'un réservoir de stockage (3), on le filtre sous cette forme liquide ou supercritique (en 4), on vaporise l'hélium filtré, et on envoie l'hélium gazeux résultant à la conduite d'utilisation (1). BR/ Application au refroidissement des pastilles à circuits intégrés.
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