Capteur d'accélération à semi–conducteur

N° de brevet: EP0802417 (A2)
Date de publication: 1997-10-22
Inventeur(s): SHINOGI MASATAKA [JP];SAITOH YUTAKA [JP];KATO KENJI [JP];
Demandeur(s): SEIKO INSTR R &;D CENTER INC [JP];
Classification: B81B3/00;G01P15/12;H01L29/84;
N° de demande: EP19970302664 19970418 
Numéro(s) de priorité: JP19960098890 19960419;JP19960121953 19960516;JP19970023060 19970205;US19970844323 19970418 
L'invention concerne un capteur d'accélération semi-conducteur comprenant, afin de réduire les erreurs induites de torsion, un corps incluant une partie de capteur (1) mobile en réponse à une force d'accélération, des moyens de détection (2) pour produire un signal représentatif d'un tel déplacement, un support (5) séparé dudit corps, et des moyens (3, 6) de liaison entre ledit support et une extrémité dudit corps, lesdits moyens de détection étant disposés sur les deux faces opposées de ladite partie de capteur. Le capteur d'accélération peut comporter des circuits en pont sur les deux face opposées et des moyens moyennant les signaux de sortie issus des circuits en pont pour éviter la détection d'accélération induisant de la torsion, des poids disposés sur les deux côtés pour le rendre moins sensible aux influences provenant d'autres axes, et un circuit intègre semi-conducteur en tant que substrat support, ce qui fait que le bruit a été réduit et que le rendement a été amélioré.

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