Corps fritté en nitrure d'aluminium, article intégré en métal, matériau d'un fonctionnement électronique et dispositif de serrage électrostatique

N° de brevet: EP0798278 (A2)
Date de publication: 1997-10-01
Inventeur(s): KATSUDA YUJI [JP];MORI YUKIMASA [JP];TAKAHASHI MICHIO [JP];BESSHO YUKI [US];
Demandeur(s): NGK INSULATORS LTD [JP];
Classification: C04B35/581;H01L21/683;
N° de demande: EP19970302083 19970326 
Numéro(s) de priorité: JP19960099557 19960329;JP19970072799 19970311 
Dans des grains de cristaux de AlN constituant un corps fritté est contenu: 150 ppm-0,5% en poids de préférence au plus 0,1% en poids, d'au moins un élément de terre rare (sous forme de son oxyde); au plus 900 ppm, de préférence au plus 500 ppm, d'au moins une impureté métallique excepté les éléments de terre rare; et de préférence au moins 0,5% en poids d'oxygène mesuré par un microanalyseur rayons X à sonde électronique. Les grains ont un diamètre moyen d'au moins 3,0 Mum préférentiellement et montrent un pic principal dans la zone de longueurs d'onde 350-370 nm du spectre obtenu par une méthode de luminescence cathodique. Le corps fritté composé de grains de cristaux AlN a une résistivité volumique à température ambiante d'au plus 1,0 x 10**1**2 Omêga.cm.

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