L'invention décrit des coupleurs (20) et des éléments de traitement pour gaz convenant tout particulièrement pour la distribution de gaz de très haute pureté lors de la fabrication de semiconducteurs. Dans les coupleurs, une tige de soupape (34) ferme l'ouverture du coupleur (56) immédiatement au voisinage de l'extérieur du coupleur, de façon à ce qu'un minimum de surface mouillée soit exposé à l'environnement extérieur. Un élément de traitement pour gaz (par exemple un filtre 120) ou un ensemble (12) entièrement intégré peut être isolé de l'extérieur à la fois du côté entrée et du côté sortie, grâce à ces coupleurs à soupape. Ainsi tout le dispositif peut être purgé après la fabrication et laissé dans un environnement contrôlé pendant le transport et l'installation, ce qui réduit les besoins en purgeage après installation.