L'invention concerne un dispositif de traitement avec un fluide comprenant une tête d'application de fluide et de transport de substrat inférieur comprenant une multitude de tiges de commande inférieures prévues dans une multitude de passages de réception de tiges de commande inférieures espacées. Les tiges de commande inférieures s'étendent au moins partiellement à travers une surface supérieure de la tête d'application de fluide et de transport du substrat inférieur. Une multitude de passages d'injection de fluide et de passages de drainage de fluide sont prévus entre les tiges de commande inférieures. Une tête d'application de fluide et de transport de substrat supérieur est prévue comportant des tiges de commande supérieures prévues dans une multitude de passages de réception de tiges de commande supérieures. Les tiges de commande supérieures s'étendent au moins partiellement à travers une surface inférieure de la tête d'application de fluide et de transport de substrat supérieur. Une multitude de passages d'injection de fluide et de passages de drainage de fluide sont prévus entre les tiges de commande supérieures. Un appareil d'alimentation au fluide fournit du fluide aux passages d'injection de fluide. Une source de fluide fournit du fluide à l'appareil de traitement de fluide.