Procédé de gravure sèche- Brevets EP0746014 (A2)

Procédé de gravure sèche

N° de brevet:	EP0746014 (A2)
Date de publication:	1996-12-04
Inventeur(s):	KANEKO TADAAKI [JP];KAWAMURA TAKAAKI [JP];
Demandeur(s):	JAPAN RES DEV CORP [JP];
Classification:	C23F1/12;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;
N° de demande:	EP19960303886 19960530
Numéro(s) de priorité:	JP19950131920 19950530

L'invention concerne un procédé pour attaquer à sec une surface d'un solide avec un composé halogéné gazeux de bismuth, ce qui permet d'effectuer un traitement à sec simple et parfait en vue de la fabrication de dispositifs électroniques, quantiques, etc... avec une reproductibilité élevée.