Procédé pour la croissance de grands monocristaux

N° de brevet: EP0745707 (A1)
Date de publication: 1996-12-04
Inventeur(s): VICHR MIROSLAV [US];HOOVER DAVID SAMUEL [US];
Demandeur(s): AIR PROD &;CHEM [US];
Classification: C30B25/02;C30B25/18;C30B25/20;C30B33/08;H01L21/205;
N° de demande: EP19960108490 19960528 
Numéro(s) de priorité: US19950454775 19950531 
Une méthode est décrite pour la production de grands monocristaux. Selon la première étape de cette méthode, différentes plaques de monocristal sont orientées de façon cristallographique pour former une plaque de germes cristallins, qui est schématisée. Cette plaque de germes cristallins schématisée est sélectivement gravée pour exposer en la mettant à nu la plaque de germes cristallins. La surface exposée et mise à nu schématisée de la plaque de germes cristallins est gravée pour former divers germes cristallins. Chacun de ces germes cristallins fait saillie à l'extérieur de la surface sous-jacente de la plaque de germes cristallins et fournit des structures idéales pour la croissance de larges monocristaux. Les grands monocristaux en résultant peuvent être séparés des germes cristallins par des moyens de gravure physiques ou chimiques.

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