CREUSET MONOBLOC

N° de brevet: WO9635091 (A1)
Date de publication: 1996-11-07
Inventeur(s): COLOMBO PAUL E [US];
Demandeur(s): CHORUS CORP [US];
Classification: C04B35/583;C23C14/24;C23C16/01;C23C16/34;C30B23/06;C30B23/08;F27B14/10;F27D1/16;H01L21/203;
N° de demande: WO1996US06267 19960503 
Numéro(s) de priorité: US19950433033 19950503 
Creuset monobloc et monolithique de tirage négatif (40), pour une cellule d'effusion par épitaxie par faisceaux moléculaires. Ledit creuset permet de maximiser la capacité, l'uniformité et la stabilité de flux à long terme et de minimiser les défauts d'ovalité, les effets de déplétion et les transitoires de flux liées à l'obturation.

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