Pour fournir un capteur capacitif qui produit des signaux de sortie de capteur d'une excellente linéarité, le capteur capacitif 1 comprend un substrat semi-conducteur 2 et un substrat 3. Le substrat semiconducteur 2 est formé avec une partie cadre 21 et une partie diaphragme 22 servant comme électrode mobile et liée avec le substrat 3 à la surface supérieure de la partie cadre 21 par une liaison anodique. Le substrat 3 est fourni avec une électrode fixée 31 sur une surface faisant face à la portion de diaphragme 22. Une patte de fixation 24 est placée sur le centre de la partie diaphragme 22 et est fixée au substrat 3 à travers un trou de l'électrode fixée 31. Quand une force externe est appliquée au capteur, la partie diaphragme 22 se déplace vers le haut et vers le bas. La force externe est détectée sur la base d'un changement de capacité électrostatique. Puisque le centre de la partie de diaphragme 22 est fixé par l'intermédiaire de la patte de projection 24, la région du déplacement maximal de la partie diaphragme 22 forme un anneau en entraînant une augmentation de la linéarité des signaux de sortie du capteur.