L'invention concerne un procédé de purification d'un gaz inerte, lors duquel on soumet ce gaz inerte à un traitement de sorption, en particulier un lavage du gaz. Selon l'invention, on va comprimer le gaz inerte, avant le traitement de sorption, jusqu'à ce qu'il atteigne une pression élevée, on réalise ensuite le traitement de sorption à cette pression, et l'on décomprime finalement le gaz inerte ainsi purifié. Les avantages de ce procédé sont par exemple que des courants de gaz d'échappement contenant comme impuretés des solvants légèrement volatils tels que, par exemple, du chlorométhyle, du chlorure d'isopropyle ou du dichlorométhane, peuvent être purifiés pour une faible consommation en énergie et en liquide de lavage. La taille des appareils peut donc être réduite en conséquence.