Composition dépouillement de photoréserves contenant des agents chélatant

N° de brevet: EP0742495 (A1)
Date de publication: 1996-11-13
Inventeur(s): HONDA KENJI [US];
Demandeur(s): OCG MICROELECTRONIC MATERIALS [US];
Classification: C11D7/32;C11D7/36;C11D7/50;G03F7/32;G03F7/42;
N° de demande: EP19960302873 19960424 
Numéro(s) de priorité: US19950436550 19950508 
Composition photorésistante non corrosive contenant: a) 20 à 70% en poids d'un solvant organique polaire ayant un moment dipolaire de plus de 3,5; b) 70 à 20% en poids de composés d'amine sélectionnés; c) une quantité efficace d'un réactif de chelation comprenant un acide mono- ou polyvalent du type ligand fixé par covalence à un squelette oligomère ou polymère; et d) éventuellement 0 à 10% en poids d'amino-acide sélectionné ayant un groupe hydroxyle.

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