PROCEDE DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF D'ATTAQUE ET CAPTEUR FERRO–ELECTRIQUE MONOMORPHE COMPOSITE EN COUCHES MINCES

N° de brevet: WO9631333 (A1)
Date de publication: 1996-10-10
Inventeur(s): HELLBAUM RICHARD F;BRYANT ROBERT G;FOX ROBERT L;
Demandeur(s): NASA [US];
Classification: B32B37/14;G01L1/16;H01L41/09;H01L41/22;H01L41/24;
N° de demande: WO1996US04725 19960404 
Numéro(s) de priorité: US19950416598 19950404 
Procédé d'élaboration de plaquettes ferro-électriques (10). Une couche précontrainte (14) est appliquée sur le moule désiré. Une plaquette ferro-électrique (12) est appliquée sur la couche précontrainte. Ces couches sont ensuite chauffées puis refroidies, entraînant la pré-contrainte de la plaquette ferro-électrique. La couche pré-contrainte peut inclure un matériau de renfort et la plaquette ferro-électrique peut inclure des électrodes ou bien des couches électrodes peuvent être placées de part et d'autre de la couche ferro-électrique. Les plaquettes réalisées selon ce procédé présentent un déplacement mécanique résultant nettement amélioré.

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