Polymères réticulés

N° de brevet: EP0738744 (A2)
Date de publication: 1996-10-23
Inventeur(s): SCHACHT HANS-THOMAS [DE];MUENZEL NORBERT [DE];
Demandeur(s): OCG MICROELECTRONIC MATERIALS [US];
Classification: C08F8/00;C08F12/22;C08F212/00;C08G65/00;C08G65/34;C08G65/40;C08G83/00;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;H05K3/06;
N° de demande: EP19960302772 19960419 
Numéro(s) de priorité: CH19950001144 19950421;CH19950002157 19950721 
Polymère insoluble dans des solutions aqueuses alcalines révélatrices et comprenant des unités structurales de formule (I): "CF FORMULE DANS L'ABREGE D'ORIGINE" dans laquelle R2 est de l'hydrogène, C1-C18 alkyl, C5-C10 cycloalkyl, C5-C14 aryl, C6-C30 aralkyl, R3 est C1-C18 alkyl, C5-C10 cycloalkyl, C5-C14 aryl ou C6-C30 aralkyl, les groupes cycloalkyl, aryl, aralkyl ou alkyl pouvant être substitués si nécessaire par un ou plusieurs groupes hydroxyl ou nitro ou par un ou plusieurs atomes d'halogène, et X est un radical organique de valence k+1, k étant un nombre de 1 à 5 et 1 est un nombre de 0 à 4, dans une quantité telle que les produits de clivage obtenus par réaction avec un acide sont solubles dans des solutions alcalines aqueuses révélatrices. Le polymère est approprié comme agent liant pour des agents photorésistants DUV de haute stabilité, de haut contraste et de bonne résolution.

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