Utilisation d'une céramique en oxyde d'alumine résistante au plasma fluoré et procédé pour sa préparation- Brevets EP0738697 (A1)

Utilisation d'une céramique en oxyde d'alumine résistante au plasma fluoré et procédé pour sa préparation

N° de brevet:	EP0738697 (A1)
Date de publication:	1996-10-23
Inventeur(s):	GUPTA ANAND [US];TIRUNELVELI S RAVI [US];
Demandeur(s):	APPLIED MATERIALS INC [US];
Classification:	C04B35/10;C04B35/111;C23C16/44;F16J12/00;H01L21/3065;
N° de demande:	EP19960302520 19960410
Numéro(s) de priorité:	US19950424772 19950418

Un matériau céramique d'alumine polycristallin résistant au plasma fluoré est produit en formant un corps brut incluant de l'alumine et un liant, et en frittant le corps brut pendant un temps d'environ 8 à 12 heures. L'aire en pourcentage de particules non-frittées dans le matériau céramique d'alumine polycristallin n'excède pas 0,1% de l'aire, ce qui conduit à une émission réduite de particules provenant du matériau après exposition au plasma fluoré.