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Filtre–résonateur en échelle à ondes acoustiques de surface
L'invention concerne un filtre-résonateur en échelle à onde acoustique de surface (SAW), qui présente une passe bande large et uniforme sans faux signaux. Une électrode d'entrée (2), un résonateur SAW à branches en série (5), une électrode de sortie (3), un résonateur SAW à branches en parallèles (6) et une électrode de mise à la masse (4) sont formés respectivement sur un substrat de niobate de lithium à propagation par rotation Y coupant X à 41 degrés. Le résonateur SAW à branches en série (5) comprend une paire de transducteurs interdigités (IDT) pour exciter la SAW, l'un desquels est connecté à l'électrode d'entrée (2). L'électrode d'entrée (3) est connectée à l'autre IDT du résonateur SAW à branches en série (5). Le résonateur SAW à branches parallèles (6) comprend une paire de IDT pour exciter la SAW, l'un desquels est connecté à l'électrode de sortie (3). L'électrode de masse (4) est connectée à l'autre IDT du résonateur SAW à branches parallèles (6). Les IDT sont constitués d'un film métallique d'Al ou d'aliage à base d'Al, l'épaisseur du film métallique étant dans la gamme de 2,5% à 7,5% du cycle d'électrode du IDT du résonateur SAW à branches parallèles (6).
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