La présente invention concerne un moniteur de position d'un faisceau de rayons X, comprenant une plaque en diamant située de façon à être traversée par le faisceau de rayons X, et une pluralité d'électrodes placées sur les deux faces de la plaque en diamant. Le moniteur permet une surveillance de la position d'un faisceau de rayons X d'énergie élevée avec une très grande précision et une vitesse élevée. En outre, le moniteur peut être actionné de manière durable ce qui en réduit le coût de fabrication.