Source de faisceau d'électrons, dispositif d'application d'un faisceau électronique et appareil électronique l'utilisant.
| N° de brevet: |
EP0633593 (A1) |
| Date de publication: |
1995-01-11 |
| Inventeur(s): |
OHSHIMA TAKASHI HITACHI FUCHUR [JP];KURODA KATSUHIRO [JP];MORI MITSUHIRO [JP];NAKAGAWA KIYOKAZU [JP];MISHIMA TOMOYOSHI [JP];HIRUMA KENJI [JP];MIYAO MASANOBU [JP]; |
| Demandeur(s): |
HITACHI LTD [JP]; |
| Classification: |
H01J1/30;H01J1/304;H01J37/073;H01J49/08; |
| N° de demande: |
EP19940304816 19940630 |
| Numéro(s) de priorité: |
JP19930161621 19930630 |
L'invention concerne une source à faisceau d'électrons pour émettre un faisceau électronique de faible dispersion d'énergie, qui comprend une aiguille cristalline (11) constituée d'un conducteur, une couche de jonction (12) ayant une épaisseur pas plus importante que la longueur de pénétration de l'onde électronique, et une couche à puit quantique (13), la couche de jonction (12) et la couche à puit quantique (13) étant disposées sur la surface de l'aiguille cristalline, caractérisé en ce que la tension négative est appliquée à l'électrode de comptage afin d'émettre de ce fait un faisceau électronique. La source à faisceau électronique susceptible d'émettre un faisceau électronique à très faible dispersion d'énergie, afin de réaliser un microscope électronique haute résolution, un spectromètre électronique haute performance ou un diffractomètre.
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