Procédé de nettoyage des espaces fermées.

N° de brevet: EP0483855 (A1)
Date de publication: 1992-05-06
Inventeur(s): FUJII TOSHIAKI [JP];SUZUKI HIDETOMO [JP];OGURE NAOAKI [JP];SAKAMOTO KAZUHIKO [JP];
Demandeur(s): EBARA RES CO LTD [JP];
Classification: B03C3/16;B03C3/38;
N° de demande: EP19910118630 19911031 
Numéro(s) de priorité: JP19900295422 19901102 
Le nettoyage d'espaces fermés tels que des armoires de sécurité, des boîtes propres, des coffres-forts et des espaces de stockage de plaquettes est réalisé en exposant un élément (13) émetteur de photoélectrons à un rayonnement ultraviolet et/ou à d'autres formes de rayonnements pour émettre des photoélectrons (16) dans l'espace fermé, en chargeant électriquement les fines particules (15) dans l'espace fermé avec les photoélectrons émis (16) et en évacuant les fines particules chargées (17) de l'espace fermé.

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