L'invention concerne des gaz perdus contenant des substances halogénées issus de l'étape de gravure à sec d'un procédé de fabrication de dispositifs semiconducteurs, qui sont rendus inoffensifs en extrayant les composants halogénés qu'ils contenaient. Ces gaz perdus contenant des composés halogénés sont traités en les amenant en premier en contact avec du charbon actif et ensuite en contact avec un élément choisi à partir du groupe consistant en un agent alcalin et en de l'oxyde ferrique, à une vitesse linéaire aux environs de 3 à 50 cm/min à température ambiante, les rapports volumiques dudit charbon actif sur l'agent alcalin ou l'oxyde ferrique exprimés sur une base pratiquement sèche étant aux environs de 2 à 4, et ledit agent alcalin étant choisi à partir d'un groupe consistant en de l'hydroxyde de calcium, de l'oxyde de calcium, de l'hydroxyde de magnésium et de l'oxyde de magnésium.