Sonde d'échèlle nanomètre pour microscope à force atomique, et méthode de fabrication.

N° de brevet: EP0483579 (A2)
Date de publication: 1992-05-06
Inventeur(s): CLABES JOACHIM G [US];HATZAKIS MICHAEL [US];LEE KAM L [US];PETEK BOJAN [US];SLONCZEWSKI JOHN C [US];
Demandeur(s): IBM [US];
Classification: B81B1/00;G01B7/00;G01B7/34;G01B21/30;G01N13/12;G01N13/16;G01N37/00;G01R1/067;G01R1/07;G12B21/02;G12B21/10;H01J37/28;
N° de demande: EP19910117499 19911014 
Numéro(s) de priorité: US19900608043 19901031 
L'invention concerne des procédés pour produire un embout de sonde en aiguille, ayant les propriétés magnétiques nécessaires pour un microscope à balayage des forces magnétiques (MFM), sur un substrat disposé dans un environnement sous vide. Une structure en forme d'aiguille à l'échelle du nanomètre substantiellement rigide est produite par la décomposition sélective d'un composé organo métallique volatil par un faisceau d'électrons très focalisé. Les étapes d'opération sont décrites, permettant d'obtenir les propriétés magnétiques spécifiées d'une telle structure de sonde en aiguille ; en particulier, la fabrication d'un domaine magnétique unique, avec des propriétés magnétiques élevées ou basses aux extrémités distales de la structure en aiguille. Ces sondes de détection magnétique permettent l'imagerie magnétique au niveau de l'échelle du nanomètre.

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