L'invention concerne un dispositif perfectionné pour l'application de micro-ondes en vue d'un traitement de matériau. BR/ Ce dispositif est du type de celui visé dans le brevet principal et se caractérise en ce que chaque module de traitement comprend une paroi intérieure (21) en un matériau électriquement conducteur, cette paroi étant pourvue d'une fenêtre (22) de couplage avec l'entrée de micro-ondes et de fentes rayonnantes (23a, 23b, 23c). BR/ Le dispositif conforme à la présente invention améliore l'homogénéité du champ à l'intérieur de la cavité résonnante et est bien adapté pour l'irradiation d'un gaz rare en vue d'engendrer un plasma.