PROCEDE POUR LA PRODUCTION DE SI3N4 SOUS FORME B

N° de brevet: FR2580272 (A1)
Date de publication: 1986-10-17
Inventeur(s): HAYASHI KENRO;OGUMA REIJI;TAMURA MASAYUKI;
Demandeur(s): TOSHIBA CERAMICS CO [JP];
Classification: C01B21/068;C04B35/593;C23C16/34;C30B15/10;C30B35/00;
N° de demande: FR19850013540 19850912 
Numéro(s) de priorité: JP19850077157 19850411 
PROCEDE POUR LA PRODUCTION DE B-SIN CONSISTANT A CUIRE DU SIN AMORPHE ETOU SOUS FORME A- DE PURETE CHIMIQUE ELEVEE, DANS UNE ATMOSPHERE NON OXYDANTE, SOUS UNE PRESSION ELEVEE, A UNE TEMPERATURE DE 1600C OU DAVANTAGE, ET PROCEDE POUR LA PRODUCTION D'UN ARTICLE DE SIN CONTENANT CE B-SIN, PERMETTANT D'OBTENIR DU B-SIN CHIMIQUEMENT PUR.ON UTILISE UN FOUR REACTIONNEL 1 ET ON PREPARE UNE COUCHE 3 D'A-SIN SUR UNE PLAQUE DE GRAPHITE 2 PAR UN PROCEDE CVD SOUS UNE PRESSION REDUITE. ON UTILISE COMME GAZ REACTIONNEL DU SICL ET DU NH. LE SICL MELANGE A RAISON DE 10 A UN GAZ PORTEUR H EST INTRODUIT A UN DEBIT DE 1LMIN AU MOYEN D'UNE CANALISATION 4, ALORS QUE DU NH EST INTRODUIT A PARTIR D'UNE CANALISATION 5.

Copyright © 2008 Patfr.com Tous droits réservés. Contact