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PROCEDE POUR LA PRODUCTION DE SI3N4 SOUS FORME B
PROCEDE POUR LA PRODUCTION DE B-SIN CONSISTANT A CUIRE DU SIN AMORPHE ETOU SOUS FORME A- DE PURETE CHIMIQUE ELEVEE, DANS UNE ATMOSPHERE NON OXYDANTE, SOUS UNE PRESSION ELEVEE, A UNE TEMPERATURE DE 1600C OU DAVANTAGE, ET PROCEDE POUR LA PRODUCTION D'UN ARTICLE DE SIN CONTENANT CE B-SIN, PERMETTANT D'OBTENIR DU B-SIN CHIMIQUEMENT PUR.ON UTILISE UN FOUR REACTIONNEL 1 ET ON PREPARE UNE COUCHE 3 D'A-SIN SUR UNE PLAQUE DE GRAPHITE 2 PAR UN PROCEDE CVD SOUS UNE PRESSION REDUITE. ON UTILISE COMME GAZ REACTIONNEL DU SICL ET DU NH. LE SICL MELANGE A RAISON DE 10 A UN GAZ PORTEUR H EST INTRODUIT A UN DEBIT DE 1LMIN AU MOYEN D'UNE CANALISATION 4, ALORS QUE DU NH EST INTRODUIT A PARTIR D'UNE CANALISATION 5.
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