Procédé de dépôt chimique de métaux
| N° de brevet: |
EP0150402 (A1) |
| Date de publication: |
1985-08-07 |
| Inventeur(s): |
MCBRIDE DONALD GENE;RICKERT ROBERT GEORGE JR; |
| Demandeur(s): |
IBM [US]; |
| Classification: |
C23C18/30;C23C18/54;H05K3/18; |
| N° de demande: |
EP19840115495 19841214 |
| Numéro(s) de priorité: |
US19830562550 19831219 |
Un métal est déposé sur un substrat à partir d'une solution de revêtement chimique en introduisant un premier corps (2) qui comprend le substrat dans une solution de revêtement, en introduisant un deuxième corps (3) dans cette solution ou le second corps (3) comprend un métal qui a un potentiel électrolytique dans la solution de revêtement différent de celui du métal à déposer, et un reliant électriquement le premier corps (2) avec le second corps (3) au moyen d'un circuit conducteur de l'électricité (4).
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