Film à couche mince en disulfure de titane et procédé pour sa fabrication

N° de brevet: EP0103470 (A1)
Date de publication: 1984-03-21
Inventeur(s): KANEHORI KEIICHI;MIYAUCHI KATSUKI;KUDO TETSUICHI;
Demandeur(s): HITACHI LTD [JP];
Classification: C01G23/00;C23C16/30;C30B25/02;C30B29/46;H01M4/02;H01M4/58;H01M6/18;H01M10/36;
N° de demande: EP19830305284 19830909 
Numéro(s) de priorité: JP19820158123 19820913 
L'invention décrit la fabrication d'un film de disulfure de titane sur un substrat, dans laquelle les cristallites de disulfure de titane sont orientés avec un angle, entre leur axe-c et la surface du substrat, de moins de 45 degrés. On décrit également un procédé de fabrication dans lequel le film est préparé par dépôt chimique en phase vapeur à partir de TiC14 et H2 S comme gaz-source sous une pression intérieure du tube de réaction de 30 kPa ou moins.

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