Dispositif pour la croissance de GaAs monocristallin par fusion par zone flottante

N° de brevet: EP0102054 (A1)
Date de publication: 1984-03-07
Inventeur(s): NISHIZAWA JUN-ICHI;
Demandeur(s): ZAIDAN HOJIN HANDOTAI KENKYU [JP];
Classification: C25D11/04;C30B13/00;C30B13/08;C30B13/20;C30B29/42;H01L21/18;
N° de demande: EP19830108312 19830824 
Numéro(s) de priorité: JP19820149747 19820827 
L'invention concerne un dispositif pour la croissance de GaAs monocristallin se basant sur la technique de fusion de zone flottante dans un cylindre (1) chargé par un polycristal de GaAs (6) et un germe de monocristal de GaAs (3). Le dispositif comprend un réservoir d'As (11) communiquant avec l'intérieur d'un cylindre (1) pour fournir une pression de vapeur d'A s optimum dans le cylindre (1) sous des conditions telles qu'une variation de température continue est établie entre ce réservoir d'As (11) et les cristaux de GaAs (3,6) chargés dans le cylindre (1). On peut ainsi obtenir un monocristal de GaAs (4) ayant une petite déviation par rapport à la stoechiométrie et une bonne perfection cristalline.

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