Dispositif permettant de concentrer le faisceau primaire dans une microsonde à faisceau ionique

N° de brevet: EP0004064 (A2)
Date de publication: 1979-09-19
Inventeur(s): RUDENAUER FRIEDRICH PROF DR;STEIGER WOLFGANG DR;
Demandeur(s): OESTERR FORSCH SEIBERSDORF [AT];
Classification: H01J37/252;
N° de demande: EP19790100668 19790306 
Numéro(s) de priorité: AT19780001622 19780307 
Le dispositif selon l'invention de concentration du faisceau d'ions primaire d'une microsonde ionique sur une zone déterminée d'un matériau échantillon, comprenant une source d'ions primaire une lentille électromagnétique à champ en forme de secteur, un diaphragme de sélection des masses, une lentille d'objectif électrostatique et des électrodes de déflexion pour dévier le faisceau d'ions primaires consiste essentiellement en ce que deux lentilles condenseurs électrostatiques qui ont un grossissement latéral différent l'une par rapport à l'autre sont disposées entre la lentille à secteur et la lentille d'objec tif. Par ces moyens on peut obtenir une forte densité de courant sur le matériau échantillon et une concentration particulièrement fine; également différentes largeurs de point focal peuvent être obtenues sur l'échantillon de façon telle qu'une adaptation particulièrement aisée aux exigences de l'analyse du moment peut être réalisée.

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