Procédé et dispositif pour le réglage d'un appareil de traitement à rayonnement électronique dans lequel est obtenue une section de rayonnement limitée de préférence sous forme rectangulaire qui est déviée dans des directions x et y, et dans lequel l'image du point de croisement du système producteur de rayonnement est formée dans le plan de basculement d'un système déviateur et est reproduite à partir de là dans le plan du diaphragme d'ouverture (pupille d'entrée) de l'objectif. Sur un écran lumineux sont successivement formées des images de la section de rayonnement électronique et des images de la pupille d'entrée et à l'aide de ces images les paramètres de réglage sont amenés à l'état nominal, des effets en retour sur des paramètres déjà réglés étant évités en effectuant certaines opérations de réglage les unes après les autres. L'invention est applicable par exemple à la fabrication de circuits électroniques miniaturisés.