Procédé et dispositif pour la correction des aberrations dues à la déviation dans un appareil à rayonnement corpusculaire dans lequel une section de rayonnement limitée par des diaphragmes est représentée sur un plan cible et y est dévié sur un endroit déterminé d'un champ de travail, la défocalisation due à la déviation étant compensée dynamiquement par une lentille de focalisation. De l'aberration chromatique et de la coma dues à la déviation sont éliminées par réglage d'un système déviateur à plusieurs étages comprenant deux ensembles de moyens de déviation tandis que l'astigmatisme du premier ensemble de moyens de déviation est compensé par celui du second et la distorsion provoquée par les deux ensembles de moyens de déviation est compensée par la lentille de focalisation. L'invention est applicable entre autres à la fabrication de composants micro-électroniques.