PROCEDE DE FABRICATION DE PLAQUES DE SILICIUM DE GRANDE SURFACE NON SOUTENUES

N° de brevet: FR2363200 (A1)
Date de publication: 1978-03-24
Inventeur(s): ;
Demandeur(s): WACKER CHEMITRONIC [DE];
Classification: C01B33/02;C01B33/027;C23C16/01;C23C16/24;C30B13/00;C30B13/06;C30B25/02;C30B29/06;H01L21/205;H01L21/208;H01L31/04;
N° de demande: FR19770025811 19770824 
Numéro(s) de priorité: DE19762638270 19760825 
Procédé de fabrication de plaques de silicium de grande surface, non soutenues. Ce procédé est essentiellement caractérisé en ce qu'on dépose jusqu'a une épaisseur de 200 à 650 mu m, sur un substrat en graphique porté à la température de dépôt, du silicium provenant d'un composé gazeux auquel on a ajouté un dopant, puis on fait fondre cette couche de silicium sur 40 à 100 % de son épaisseur à partir de sa surface libre, on provoque ensuite une nouvelle solidification de la matière de cette couche par création d'un gradient de température approprié à partir du substrat, et enfin on la sépare du substrat. Ces plaques de silicium sont destinées à la fabrication de cellules solaires.

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