PROCEDE DE FABRICATION CONTINUE DE BARREAUX OU DE TUBES DE SILICIUM

N° de brevet: FR2361475 (A1)
Date de publication: 1978-03-10
Inventeur(s): ;
Demandeur(s): WACKER CHEMITRONIC [DE];
Classification: B28B21/00;C01B33/02;C01B33/035;C23C16/01;C23C16/24;C30B25/00;C30B29/06;
N° de demande: FR19770012733 19770427 
Numéro(s) de priorité: DE19762618398 19760427 
Procédé de fabrication continue de barreaux ou de tubes de silicium par dépôt à partir d'un gaz à l'intérieur d'un tube-support. On enroule sur un cylindre 2 en métal creux refroidi, placé dans un réacteur 1 et ouvert à une extrémité, un ruban souple 6 en une matière résistant au silicium de manière à former un tube, ce ruban étant séparé dudit cylindre par un mouvement de rotation-traction; on chauffe la partie en aval par un dispositif Il pour provoquer le dépôt du silicium à partir d'un gaz introduit en 15. Fabrication de tubes et barres microcristallines utilisables pour la fabrication de monocristaux.

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